DIN 50451-6 E:2012-11
半导体工艺用材料测试 液体中痕量元素测定 第6部分：测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution

被代替

标准号

DIN 50451-6 E:2012-11

发布

1970年

发布单位

/

替代标准

DIN 50451-6:2014

当前最新

DIN 50451-6:2014-11

 

 

DIN 50451-6 E:2012-11相似标准

氟化铵 测试方法

/

安徽省标准

德国标准化学会

美国材料与试验协会