T/CZSBDTHYXH 001-2023
半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

Wafer defects Automatic optical inspection equipment


 

 

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标准号
T/CZSBDTHYXH 001-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CZSBDTHYXH 001-2023
 
 
适用范围
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。

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