凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,HiPace 系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了最佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比极佳。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有极佳的性价比和灵活性。“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。...
涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染极少,可获得洁净的超高真空 . 涡轮分子泵广泛应用于需要高真空度的高能加速器、可控热核反应堆、重粒子加速器以及真空镀膜工艺等领域。为了利用涡轮分子泵获得洁净真空,国外常采用干式机械泵作为其前级泵,形成无油真空系统。但目前国内大部分涡轮分子泵都采用油封机械泵作为前级泵,构成油基真空系统。...
普发真空推出新型涡轮分子泵普发真空针对离子注入应用推出新型涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对小分子气体实现极高抽速 由于具有智能温度管理系统,能自适应工艺 条件 得益于可靠的复合轴承设计,购置成本极低德国阿斯拉尔,2020 年 11 月 20 日。HiPace 2800 IT 是普发真空推出的一款离子注入应用专用涡轮分子泵。此款涡轮分子泵精巧的转子设计可实现极优异的小分子气体抽吸能力。...
3.4.安全连接高真空法兰/真空室涡轮分子泵,尤其是抽速在 1000 l/s 以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵,在额定转速下具有较高的扭矩,在转子碰撞时,速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时,则会发生真空室变形的情况,情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。...
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