SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007
涡轮分子泵真空泵接口规范
SPECIFICATION FOR VACUUM PUMP INTERFACES TURBOMOLECULAR PUMPS
- 标准号
- SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- /
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