T/CHBAS 36-2023
集成电路用混合气体 100ppm 氢/氖

Mixed gas for integrated circuits 100ppm hydrogen/neon


 

 

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标准号
T/CHBAS 36-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 36-2023
 
 
适用范围
本文件规定了集成电路用混合气体100ppm氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体100ppm氢/氖(以下简称100ppm氢/氖)，其它组分比例的氢氖混合气可参照执行。

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