T/CHBAS 33-2023
集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖

Mixed gas for integrated circuits 4.5% hydrogen chloride/0.9% hydrogen/neon

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标准号

T/CHBAS 33-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CHBAS 33-2023

 

 

适用范围

本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行

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