GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

Information model for containing process chamber IC equipment design

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标准号

GB/T 37959-2019

发布日期

2019年08月30日

实施日期

2020年03月01日

废止日期

无

中国标准分类号

J07

国际标准分类号

35.240.50

发布单位

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

GB/T 37959-2019系列标准