GB/T 40129-2021
表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
GBT40129-2021, GB40129-2021
- 标准号
- GB/T 40129-2021
- 别名
- GBT40129-2021, GB40129-2021
- 发布
- 2021年
- 采用标准
- ISO 13084:2018 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 40129-2021
- 适用范围
- 本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱(SIMS)仪器的质量校准准确度的方法。 本文件仅适用于飞行时间仪器,但并不限于任何特定的仪器设计。 本文件提供了对一些仪器参数优化的指导,这些参数能使用此程序进行优化,还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。
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