表面分析方法表面分析方法有数十种，常用的有离子探针、俄歇电子能谱分析和X射线光电子能谱分析，其次还有离子中和谱、离子散射谱、低能电子衍射、电子能量损失谱、紫外线电子能谱等技术，以及场离子显微镜分析等。离子探针分析离子探针分析，又称离子探针显微分析。...
俄歇电子能谱分析在机械工业中主要用于金属材料的氧化、腐蚀、摩擦、磨损和润滑特性等的研究和合金元素及杂质元素的扩散或偏析、表面处理工艺及复合材料的粘结性等问题的研究。X射线光电子能谱分析X射线光电子能谱分析，以一定能量的X射线辐照气体分子或固体表面，发射出的光电子的动能与该电子原来所在的能级有关，记录并分析这些光电子能量可得到元素种类、化学状态和电荷分布等方面的信息。...
俄歇电子能谱分析在机械工业中主要用于金属材料的氧化、腐蚀、摩擦、磨损和润滑特性等的研究和合金元素及杂质元素的扩散或偏析、表面处理工艺及复合材料的粘结性等问题的研究。X射线光电子能谱分析X射线光电子能谱分析，以一定能量的X射线辐照气体分子或固体表面，发射出的光电子的动能与该电子原来所在的能级有关，记录并分析这些光电子能量可得到元素种类、化学状态和电荷分布等方面的信息。...
原子中的内层电子或价电子吸收能量足够大的光子后，会离开原子成为光电子，根据测定发射出来的光电子的特征能量，可定性地确定样品表面上存在的元素，把未知样品光电子能谱和已知的表面组分标准样品的光电子能谱进行对比，或者和一系列相应的纯元素光电子能谱进行对比，即可对样品表面的组分进行定量成分分析。2、俄歇电子能谱高速电子打到材料表面，除产生X射线外，还会激发出俄歇电子等。...
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