ASTM F1189-88
ASTM F1189-88
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- 标准号
- ASTM F1189-88
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1189-88
- 引用标准
- ASTM E1 ASTM F121 ASTM F612
- 1.1 本测试方法涵盖使用计算机辅助色散红外（CA-DIR）或傅里叶变换红外（FT-IR）分光光度计测定双面抛光的单晶硅片的间隙氧含量。适用于厚度在0 . 3和2。 5 毫米（含）。 I.2 本测试方法适用于电阻率大于 0.2 Qacm（11 型）或大于 1.0 9 cm @ 型）的硅片。 1. 3 本测试方法可测量的氧气浓度的有用范围为 1 X 1 0 l...