ASTM F1189-88
ASTM F1189-88
- 标准号
- ASTM F1189-88
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1189-88
- 引用标准
- ASTM E1 ASTM F121 ASTM F612
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖使用计算机辅助色散红外（CA-DIR）或傅里叶变换红外（FT-IR）分光光度计测定双面抛光的单晶硅片的间隙氧含量。适用于厚度在0 . 3和2。 5 毫米（含）。 I.2 本测试方法适用于电阻率大于 0.2 Qacm（11 型）或大于 1.0 9 cm @ 型）的硅片。 1. 3 本测试方法可测量的氧气浓度的有用范围为 1 X 1 0 l 6 至 2 X 10" 原子/cm3，具体取决于样品的厚度。较厚的样品通常可达到较低的限值，而较高的限值可达到1.4 使用本测试方法获得的氧浓度假定间隙氧浓度和与硅中间隙氧相关的 1107cm" 波段的吸收系数之间存在线性关系。
1.5 本标准可能涉及危险材料、操作和设备。本标准并不旨在解决与其相关的所有安全问题。本标准的使用者有责任建立适当的安全和健康实践并在此之前确定监管限制的适用性。