T/SZBX 080-2022
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Phase-shifting Laser Interferometer


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标准号
T/SZBX 080-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/SZBX 080-2022
 
 
本文件规定了相移式激光干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

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