T/ZGM 003-2022
质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件

Assessment requirements for quality grading and forerunner - Membrane elements for terminal filtration in the semiconductor industry

被代替

T/ZGM 003-2022 发布历史

T/ZGM 003-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-09-07，并于 2022-09-07 实施。

T/ZGM 003-2022在国际标准分类中归属于: 21-010 机械系统和通用件综合。

T/ZGM 003-2022 质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/ZGM 003-2023 。

T/ZGM 003-2022的历代版本如下：

• 2023年 T/ZGM 003-2023 质量分级及“领跑者”评价要求 饮用水处理用浸没式中空纤维超滤膜组件
• 2022年 T/ZGM 003-2022 质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件
• 2021年 T/ZGM 003-2021 “领跑者”标准评价要求 超滤膜

适用于半导体清洗、涂胶显影和刻蚀工序。要求微孔滤膜的厚度，通量，泡点，金属溶出和NVR溶出符合工艺要求。

标准号

T/ZGM 003-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

替代标准

T/ZGM 003-2023

当前最新

T/ZGM 003-2023

 

 

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