T/ZGM 003-2022
质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件

Assessment requirements for quality grading and forerunner - Membrane elements for terminal filtration in the semiconductor industry

2023-09

 

 

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标准号
T/ZGM 003-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
替代标准
T/ZGM 003-2023
当前最新
T/ZGM 003-2024
 
 
适用范围
适用于半导体清洗、涂胶显影和刻蚀工序。要求微孔滤膜的厚度,通量,泡点,金属溶出和NVR溶出符合工艺要求。

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