ISO 14606:2022
表面化学分析.溅射深度轮廓.使用分层系统作为参考材料的优化
Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
- 标准号
- ISO 14606:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14606:2022
- 引用标准
- ISO 18115-1
- 适用范围
- 本文件提供了使用适当的单层和多层参考材料优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便根据俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次分析中的仪器设置实现最佳深度分辨率。 离子质谱法。 本文件无意涵盖特殊多层系统（例如δ掺杂层）的使用。
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