ASTM F907-85E01R92
光刻胶旋涂用圆片旋转加速度测量的试验方法

Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating


 

 

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标准号
ASTM F907-85E01R92
发布
1996年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F907-85(1992)e1
当前最新
ASTM F907-85(1992)e1
 
 

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