GB/T 40566-2021
流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
GBT40566-2021, GB40566-2021
GB/T 40566-2021 发布历史
本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。 本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定,其他硅材料参照使用。 注:本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程,最大测定范围为氢量0.00008 mg~2.5 mg。 以质量分数(%)表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如,1g 样品最大测定范围的质量分数为0.000008%~0.25%;
GB/T 40566-2021由国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 发布于 2021-10-11，并于 2022-05-01 00:00:00.0 实施。
GB/T 40566-2021 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 40566-2021 发布之时，引用了标准
- GB/T 14264 半导体材料术语
- GB/T 6379 测试方法的精密度 通过实验室间试验确定标准测试方法的重复性和再现性
- GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 40566-2021的历代版本如下：
- 2021年 GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
- 标准号
- GB/T 40566-2021
- 别名
- GBT40566-2021
GB40566-2021 - 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 40566-2021
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 6379 GB/T 8170