T/DLSHXH 007-2020
电子工业用气体 氧硫化碳
Carbon oxysulfide gas for electronics industry
2022-09
- 标准号
- T/DLSHXH 007-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 替代标准
- T/DLSHXH 007-2022
- 当前最新
- T/DLSHXH 007-2022
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。分子式：COS。相对分子质量：60.07（按2011年国际相对原子质量）。