硅基红外气体传感器, 您可以免费下载预览页
MEMS传感器系统主要是由一个采用表面微加工工艺制造的硅微结构构成,通常是将两个或多个晶圆片(裸片)堆叠放置,用玻璃材料化合物焊料将其焊接在硅基封装内。在传感器上存在厚度约为150um的硅保护帽,其本身对入射传感器表面的辐射有自然的红外波长过滤功能。当然,硅保护帽的红外透射光谱使传感器光学性能在1-13um波长红外区域变差12,具体程度取决于硅特性。...
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