JJF 1932-2021
椭偏仪校准规范
Calibration Specification for Ellipsometers
JJF 1932-2021 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- JJF 1932-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家计量技术规范
- 当前最新
- JJF 1932-2021
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椭偏仪简介
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 早期的椭偏研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展和应用使椭偏数据的拟合分析变得容易，促使椭偏仪在更多的领域得到应用。...