ISO/CD 17973
表面化学分析 中分辨率俄歇电子能谱仪 元素分析能量标度的校准
Surface chemical analysis — Medium-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of energy scales for elemental analysis
ISO/CD 17973 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- ISO/CD 17973
- 发布
- 1978年
- 发布单位
- 国际标准化组织
ISO/CD 17973相似标准
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俄歇电子能谱仪的基本原理
新一代的俄歇电子能谱仪多采用场发射电子枪,其优点是空间分辨率高,束流密度大,缺点是价格贵,维护复杂 ,对真空要求高。除 H 和 He 外,所有原子受激发后都可产生俄歇电子,通过俄歇电子能谱不但能测量样品表面的元素组分和化学态,而且分析元素范围宽,表面灵敏度高。显微AES是 AES 很有特色的分析功能。一般显微AES是先获得扫描电子微显图像(SEM),再在 SEM 图像上确定分析位置和分析方式。...
俄歇电子能谱仪的技术发展
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对俄歇电子能谱仪的定性分析
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俄歇电子能谱（1）
各种表面分析方法的建立又为这些领域的研究创造了很有利的条件。在表面组分分析方法中，除化学分析用电子能谱以外，俄歇电子能谱是最重要的一种。目前它已广泛地应用于化学、物理、半导体、电子、冶金等有关研究领域中。...