T/CHBAS 32-2023
集成电路用混合气体 3%氘/氮

Mixed gas for integrated circuits 3% deuterium/nitrogen

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标准号

T/CHBAS 32-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CHBAS 32-2023

 

 

适用范围

本文件规定了集成电路用混合气体3%氘/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体3%氘/氮（以下简称3%氘/氮），其它组分比例的氘氮混合气可参考照执行

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