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在生产光电单元时,乙硅烷常用于沉积多晶硅薄膜。66. drive-in:推阱,指运用高温过程使杂质在硅片中分布扩散。67. dry etch:干刻,指采用反应气体或电离气体除去硅片某一层次中未受保护区域的混合了物理腐蚀及化学腐蚀的工艺过程。68. effective layer thickness:有效层厚,指在外延片制造中,载流子密度在规定范围内的硅锭前端的深度。69....
尺寸和表面缺陷极限导则 第14部分:EFD型磁心修订2022/8/811320204895-T-469硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法制订2022/8/711420210945-T-469国际贸易单证样式 第3部分:应用指南制订2022/8/711520213446-T-607封闭式干洗机 定义和机器特性的检验制订2022/8/711620213447-T-607干洗机洗涤操作...
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