移相差动共焦显微镜技术要求 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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系统工作原理赵教授继续解释说:“技术的重点是将激光差动共焦测量技术与面形干涉测量技术有机融合,设计并构建一台对球面镜组组件进行综合参数测量的系统。该系统一方面利用差动共焦强度响应特性曲线的零点位置,对被测组件进行精确定位,实现对透镜的表面曲率半径、焦距、 折射率、 厚度和镜组轴向间隙的高精度测量;另一方面则利用多歩移相干涉测量技术实现对组件面形的高精度测量。” ...
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