GB/T 21287-2021
电子特气 三氟化氮

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

GBT21287-2021, GB21287-2021


说明:

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GB/T 21287-2021

标准号
GB/T 21287-2021
别名
GBT21287-2021
GB21287-2021
发布
2021年
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
当前最新
GB/T 21287-2021
 
 
引用标准
GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 5832 GB/T 601 GB/T 603
被代替标准
GB/T 21287-2007
适用范围
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯,或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

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