ASTM E684-95(2000)
固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces
- 标准号
- ASTM E684-95(2000)
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E684-04
- 当前最新
- ASTM E684-04
- 引用标准
- ASTM E1127 ASTM E1577 ASTM E673
- 适用范围
- 1.1 本实践描述了一种确定离子束形状和电流密度的简单且近似的方法。该实践仅限于直径大于 0.5 毫米的离子束，用于溅射固体表面以获得溅射深度分布。假设离子束电流密度关于束轴对称。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。