ASTM E1577-11
用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
Standard Guide for Reporting of Ion Beam Parameters Used in Surface Analysis
2020-01
- 标准号
- ASTM E1577-11
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM E1577-11
- 引用标准
- ASTM E673 ASTM E684
- 适用范围
- 离子束以两种方式用于表面分析。首先，它们可以从样本中生成信号，例如在 SIMS 和 ISS 中。其次，它们可以从样品表面去除材料，同时表面分析技术可以确定新暴露表面的成分。这个过程称为溅射深度分析。理想情况下，本指南要求报告可能影响结果的离子束的所有特性，以便可以重现测量结果。
1.1 本指南涵盖表征表面分析中使用的离子束所需的信息。
1.2 本指南不涵盖执行溅射深度剖面所需的所有信息（参见参考文件）、指定样品除表面法线之外的任何属性，并讨论选择一组特定离子束参数的基本原理 (1,7) 。本指南确实假设离子通量具有唯一的方向，即离子束，而不是更典型的等离子体的宽谱速度矢量。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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