BS EN ISO 14644-8:2022
跟踪更改 洁净室和相关的受控环境 通过化学浓度评估空气清洁度（ACC）
Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
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- 标准号
- BS EN ISO 14644-8:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-8:2022
- 范围 本文件建立了典型的评估流程，以确定洁净室和相关受控环境中空气化学清洁度（ACC）的分级水平，根据特定化学物质（个体、群体或类别）的空气浓度，并提供了包括测试的协议确定方法、分析和时间加权因素。 本文件目前仅考虑洁净室操作条件下空气化学污染物的浓度在10 0 g/m 3 和10 -12 g/m 3 之间。 本文件不适用于空气中化学物质的存在不被视为对产...