BS EN ISO 14644-8:2022
洁净室和相关的受控环境 通过化学浓度评估空气清洁度（ACC）
Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
- 标准号
- BS EN ISO 14644-8:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-8:2022
- 适用范围
- 范围 本文件建立了典型的评估流程，以确定洁净室和相关受控环境中空气化学清洁度（ACC）的分级水平，根据特定化学物质（个体、群体或类别）的空气浓度，并提供了包括测试的协议确定方法、分析和时间加权因素。 本文件目前仅考虑洁净室操作条件下空气化学污染物的浓度在10 0 g/m 3 和10 -12 g/m 3 之间。 本文件不适用于空气中化学物质的存在不被视为对产品或过程构成风险的行业、过程或生产。 本文件的目的不是描述空气化学污染物的性质。 本文件没有给出表面化学污染的分类。