JIS H0611-1994
硅片厚度、厚度变化及弯曲的测量方法

Methods of measurement of thickness, thickness variation and bow for silicon wafer

JIS H0611-1994 发布历史

この規格は，シリコン単結晶ウェーハ(以下，ウェーハという。)の厚さ，厚さむら及びポウの測定方法について規定する。

JIS H0611-1994由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 1994-01-01。

JIS H0611-1994 在中国标准分类中归属于: H81 半金属，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料,77.120.99 其他有色金属及其合金。

JIS H0611-1994的历代版本如下：

• 1994年01月01日 JIS H0611-1994 硅片厚度、厚度变化及弯曲的测量方法

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标准号

JIS H0611-1994

发布日期

1994年01月01日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H81

国际标准分类号

29.045;77.120.99

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は，シリコン単結晶ウェーハ(以下，ウェーハという。)の厚さ，厚さむら及びポウの測定方法について規定する。