JIS H 0611:1994
硅片厚度、厚度变化及弯曲的测量方法

Methods of measurement of thickness, thickness variation and bow for silicon wafer


 

 

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标准号
JIS H 0611:1994
发布
1994年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS H 0611:1994
 
 
适用范围
この規格は,シリコン単結晶ウェーハ(以下,ウェーハという。)の厚さ,厚さむら及びポウの測定方法について規定する。

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