硅片性能参数 1、型号(P型和N型,P型多晶硅是掺B,N型多晶硅是掺P) 2、电阻率 3、少数载流子寿命 4、硅片边长 5、对角线长度 6、倒角 7、厚度 8、总厚度变化...
风向风速自记仪的传感器属于非热式微型测风传感器,结构简单,能实现风速风向的单片测量,采用电容作为测量信号,功耗低,温漂小、响应快。介绍了传感器的结构和工作原理,分析了传感器输出电容、可动极板的弯曲形变以及可动极板2个方向的固有频率,得出了可动极板在厚度方向上比在高度方向较易弯曲形变的结论。从理论上计算了 传感器输出电容和风速风向的变化关系,为传感器设计了一套基于MEMS体硅工艺的制作流程。...
在推荐的工作电压下使用纯金属块标样进行束流测量。4. 相同的条件下,在待测样品上采集谱图,计算得出结果。如图3所示,实测膜层厚度约47.4 nm,同时铝、氧原子比也非常接近于2:3。通过平面内的多点检测,Layerprobe可以给出膜厚-成分梯度的变化。图4是使用Layerprobe对硅片上轨纯铝镀层进行膜厚均匀度检测的结果。图 3:结果页面。...
薄膜厚度测量仪 济南三泉中石实验仪器有限公司根据相关标准研发生产了薄膜厚度测量仪CHY-U, 适用薄膜、电池隔膜、太阳能电池硅片、纸张、胶带、箔片、硅片等各种材料的厚度测量,是一款超高测试误差的全自动测厚仪,测厚仪被广泛应用于质检机构、薄膜生产厂家、光伏厂等单位。 ...
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