T/QGCML 744-2023
半导体设备零部件化学清洗工艺规范

Chemical cleaning process specification for semiconductor equipment parts


 

 

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标准号
T/QGCML 744-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 744-2023
 
 
适用范围
本标准规定了半导体设备零部件化学清洗工艺规范的术语定义、技术要求以及化学清洗工艺方法。 本标准适用于半导体设备零部件的化学清洗工艺。

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