T/QGCML 743-2023
半导体设备零部件阳极氧化工艺规范

Specifications for anodizing process of semiconductor equipment parts


 

 

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标准号
T/QGCML 743-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 743-2023
 
 
适用范围
本标准规定了半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的术语与定义、技术要求、阳极氧化工艺方法。 本标准适用于半导体设备零部件的阳极氧化工艺。

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