DIN EN ISO 14644-2 E:2010-12
洁净室和相关控制环境 第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据（草案）
Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Using particle concentration monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness (draft)
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-2 E:2010-12
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-2 E:2014-11
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-2:2016-05
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