T/QGCML 4167-2024
半导体石英坩埚生产用高纯石英砂


 

 

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标准号
T/QGCML 4167-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 4167-2024
 
 
适用范围
本文件规定了半导体石英坩埚生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。 本文件适用于半导体石英坩埚生产用高纯石英砂。

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