ASTM F390-98(2003)
用共线四探针法对金属薄膜的薄膜耐力的试验方法

Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array


 

 

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标准号
ASTM F390-98(2003)
发布
1998年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F390-11
当前最新
ASTM F390-11
 
 
适用范围
1.1 本测试方法涵盖使用共线四探针阵列测量金属薄膜的方块电阻。它旨在与厚度在 0.01 至 100 μm 之间的矩形金属薄膜一起使用，通过材料沉积或减薄工艺形成并由绝缘基板支撑，薄层电阻范围为 10 至 10 Ω/ [开箱]（见3.1.3）。
1.2 本测试方法适用于裁判测量目的以及常规验收测量。
1.3 以Si单位表示的数值应视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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