BS IEC 63229:2021
半导体器件 碳化硅衬底氮化镓外延膜缺陷分类

Semiconductor devices. Classification of defects in gallium nitride epitaxial film on silicon carbide substrate


 

 

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标准号
BS IEC 63229:2021
发布
2023年
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS IEC 63229:2021
 
 

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