随着纳米科技及微加工的发展,微纳尺度产品的计量检测愈加迫切,需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题,广东省计量院通过承担质检总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”和省科技厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”,成功研制出微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等。...
,实现区域计量技术规范共建共享,近日,江苏省市场监督管理局发布公告,批准由上海市计量测试技术研究院等单位起草的《微纳米线间隔标准样板校准规范》、安徽省计量科学研究院等单位起草的《随机冲击速度测量仪检定规程》为江苏省地方计量技术规范。...
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