他们发明了一种基于聚焦离子束的应变诱导三维纳米结构加工新方法,即利用离子束辐照产生的注入效应以及由入射粒子能量转换与传递产生的温度效应,在纳米材料中产生局域化表面再构、缺陷、晶体结构变化,实现了三维空间诱导的纳米材料形变,以此构建三维功能纳米结构与器件。这种基于聚焦离子束的应变加工方法可兼有高精度、多维度、跨尺度、可设计以及可控等特点。...
多年以来,中科院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)微加工实验室系统地开展了基于聚焦离子束技术的三维纳米结构与器件的可控加工技术研究,并取得一系列的进展。...
例如,化学合成、自组装、光刻、聚焦离子束加工、以及3D打印都成功用于金属微纳结构制备,各具优势和特点。 然而,这些加工手段也同时存在一些不足,尤其三维金属微纳结构制备与集成,仍然是这些常规技术所面临的最大挑战。作为一项三维微纳制造技术,飞秒激光直写已经实现多种类材料三维微纳结构的可控加工,并且显示出了易于集成、无掩膜、任意形状可设计、高分辨率、适用于非平面衬底等独特优势。...
科研人员相信,通过结合激光诱导预应变和电子束辐照两种方法,这一新方法开创性地实现了任意应变结构,使以往无法加工的孤立应变微结构成为可能,使“激光路径诱导”真正发展成为一种通用的微/纳米制造技术。国家纳米科学中心博士生瞿钰松、南开大学博士生陈胜垚、中国科学院上海微系统与信息技术研究所博士生何炬星为文章共同第一作者,国家纳米科学中心研究员刘前和北京化工大学数理学院副教授王聪为共同通讯作者。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号