ASTM F1396-93(2020)
用气体分配系统部件测定氧气贡献的标准测试方法

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适用范围: 1.1 本测试方法涵盖了在环境温度下测试组件对超高纯度气体分配系统的氧气贡献的程序。此外，该测试方法允许在高达 70°C 的环境温度下测试组件。
1.2 本测试方法适用于含有电子级材料的在线组件，例如半导体气体分配系统中使用的组件。
1.3 局限性：
1.3.1 本测试方法受到当前仪器仪表灵敏度以及仪器响应时间的限制。该测试方法不适用于测试外径标称尺寸大于 12.7 毫米（1⁄2 英寸）的部件。该测试方法可适用于较大的部件；然而，规定的体积流量可能无法提供充分的混合以确保样品具有代表性。较高的流速可以改善混合，但会过度稀释样品。
1.3.2 本测试方法的编写假设操作员对设备使用的理解程度相当于六个月的经验水平。
1.4 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 5 节。
1.6 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的） TBT）委员会。

ASTM F1396-93(2020)用气体分配系统部件测定氧气贡献的标准测试方法