ASTM F1398-93(2020)
通过气体分配系统部件确定总碳氢贡献的标准测试方法
Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components
- 标准号
- ASTM F1398-93(2020)
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1398-93(2020)
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖在环境温度下测试组件对气体分配系统的总碳氢化合物 (THC) 贡献。此外，该测试方法允许在高达 70°C 的环境温度下测试组件。
1.2 本测试方法适用于含有气态电子级材料的在线组件，例如半导体气体分配系统中使用的组件。
1.3 局限性：
1.3.1 该测试方法受到当前仪器灵敏度以及仪器响应时间的限制。该测试方法不适用于外径标称尺寸大于 12.7 毫米（1⁄2 英寸）的部件。该测试方法可适用于较大的部件；然而，规定的体积流量可能无法提供充分的混合以确保样品具有代表性。较高的流速可以改善混合，但会过度稀释样品。
1.3.2 不同的仪器方法（例如氢火焰离子化检测器（FID）、质谱仪（MS））由于对不同分子种类的灵敏度不同，所得出的总碳氢化合物（THC）水平无法进行比较。高纯气体分配系统的碳氢化合物污染物可分为两大类： (1) 不凝性碳氢化合物 (