DIN EN 62047-16 E:2012-11
半导体器件-微机电器件-第16部分：确定MEMS薄膜残余应力的测试方法-晶圆曲率和悬臂梁偏转方法（草案）
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
- 标准号
- DIN EN 62047-16 E:2012-11
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN EN 62047-16:2015-12
- 当前最新
- DIN EN 62047-16:2015-12
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