GB/T 29732-2021
表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
GBT29732-2021, GB29732-2021
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- 标准号
- GB/T 29732-2021
- 别名
- GBT29732-2021
GB29732-2021 - 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 29732-2021
- 引用标准
- GB/T 22461-2008 ISO 18115
- 被代替标准
- GB/T 29732-2013
- 适用范围
- 本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。 本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为2eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。