KS I ISO 14644-6-2017(2022)
洁净室和相关受控环境.第6部分:词汇

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary

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标准号: KS I ISO 14644-6-2017(2022)
发布日期: 2017年12月26日
实施日期
废止日期: 无
国际标准分类号: 13.040.35
发布单位: KR-KS

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