ASTM F1398-93(2012)
通过气体分配系统部件确定总碳氢贡献的标准测试方法

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components


说明:

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ASTM F1398-93(2012)

标准号
ASTM F1398-93(2012)
发布
2012年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F1398-93(2020)
当前最新
ASTM F1398-93(2020)
 
 
1.1 本测试方法涵盖在环境温度下测试组件对气体分配系统的总碳氢化合物 (THC) 贡献。此外,该测试方法允许在高达 70°C 的环境温度下测试组件。 1.2 本测试方法适用于含有气态电子级材料的在线组件,例如半导体气体分配系统中使用的组件。 1.3 局限性: 1.3.1 该测试方法受到当前仪器灵敏度以及仪器响应时间的限制。该测试方法不适用于外径标称尺寸大于...

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