IEC/TR 63258-2021
纳米技术.评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南
Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
IEC/TR 63258-2021 中，可能用到以下仪器
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- 标准号
- IEC/TR 63258-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
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该系统既可应用于单光束光谱椭偏仪所覆盖的领域，也可应用于单波长或分立波长的椭偏成像仪所涉及的领域，适合同时需要高空间分辨和光谱分辨测量的纳米薄膜器件测量的场合，这将为椭偏测量开拓新的应用方向。已成功应用于“863”项目“针对肿瘤标志谱无标记检测蛋白质微阵列生物传感器的研制”等研究工作中，并将在微/纳制造、生物膜构造、新型电子器件、生物芯片及高密度存储器件等领域中发挥重要作用。...
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光谱椭偏仪你知道多少？
椭偏仪的适用样品范围很广，紫外至近红外波段透过半透过等材料都不在话下，也就是可以表征绝大部分的半导体和介电薄膜材料，甚至厚度在几十纳米以下的金属薄层也是囊中之物。 椭偏仪可以直接测量样品折射率和消光系数，也就是光的吸收强度； 在此基础上，我们可以鉴定样品的组分和带隙； 最后通过与强大的软件分析相结合，样品信息如厚度、粗糙度、均匀度、孔隙率、电导率等，在椭偏仪面前一览无余。 ...