DIN EN 62047-21 E:2012-11
半导体器件-微机电器件-第21部分：薄膜MEMS材料泊松比测试方法（草案）
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
- 标准号
- DIN EN 62047-21 E:2012-11
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN EN 62047-21:2015
- 当前最新
- DIN EN 62047-21:2015-04
DIN EN 62047-21 E:2012-11相似标准
EN 62047-21:2014 半导体器件微机电器件第21部分：薄膜MEMS材料泊松比测试方法
NF EN 62047-21:2014 半导体器件 微机电器件 第21部分：薄膜MEMS材料泊松比的测试方法
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DIN EN 62047-21:2015-04 半导体器件-微机电器件-第21部分：薄膜MEMS材料泊松比的测试方法（IEC 62047-21:2014）
NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 半导体器件. 微型机电装置. 第21部分: 薄膜MEMS材料泊松比试验方法
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