NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014
半导体器件. 微型机电装置. 第21部分: 薄膜MEMS材料泊松比试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21 : test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

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标准号

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014

发布

2014年

发布单位

法国标准化协会

当前最新

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014

 

 

引用标准

ASTM E132-04(2010) CEI 62047-8:2011

适用范围

La présente partie de l'IEC 62047 spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m.

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