T/GVS 007-2022
射频电源动态阻抗测试方法
Test method for dynamic impedance of RF generator
T/GVS 007-2022 发布历史
T/GVS 007-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-07-11，并于 2022-07-11 实施。
T/GVS 007-2022在国际标准分类中归属于: 19.080 电工和电子试验。
T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 T/GVS 007-2022 。
T/GVS 007-2022的历代版本如下：
- 2022年 T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法
规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
T/GVS 007-2022相似标准
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