T/GVS 007-2022
射频电源动态阻抗测试方法
Test method for dynamic impedance of RF generator
- 标准号
- T/GVS 007-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/GVS 007-2022
- 适用范围
- 规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
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